1高纯度
适当的选用生成热解石墨的原料气体、基体和热区材料的纯度。能够生成高纯度的热解石墨。
2热膨胀系数的各项异性十分显著
硅和热解石墨膨胀系数相差特别大。在外延的过程中，可能会因为网路电压波动和设备不稳定等因素，导致硅片熔化。通常包硅、熔硅和包碳化硅石墨基座会和熔硅粘在一起或断裂报废。而热解石墨，只需要用东西敲打，让其振动，熔硅就能脱落。
3热导性能很独特
热解石墨平行在基面方向上的热导率在广泛的范围内比铜好，更优于普通高纯石墨。反之，垂直于沉积面在高温下是一种很好的绝热体。这一特性让整块基座因为感应线圈的不均或者因为基座内部结构的不均造成的温度不均达到热平衡，降低了基座各部位的温度梯度，这就会让同一基座各部位生产的外延片的电阻率和层厚度均匀。
4质地细密、坚实，气密性良好
热解石墨质地细密、坚实，融化的硅无法深入基座中，内部的杂质难以挥发出来，这样就解决了因为基座挥发物让石英反应管发白、变黄的而造成的外延困难，很大程度延长了石英反应管的寿命，同时也便于观察。
5经济耐用
热解石墨在高温条件下拥有很高的机械强度，良好的化学稳定性，抗高温、高流、气流冲蚀，所以使用寿命比较长。