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石墨热场​以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用

发布时间:2021-03-23 分享

石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用

直拉单晶炉的热系统,即所谓的热场,指的是为了熔化硅料,同时让单晶生长维持在一定温度下进行的整个系统。


热场通常涵盖(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了预防漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。

    

21世纪,愈来愈多的用户都开始关注到石墨材料,石墨具备耐高温、导电、导热性良好、润滑性等主要特性,抗热震性等在新能源引领未来的时代,石墨热场还有零件在单晶硅的制造中具有关键的载体作用。

    

在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,经过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有许多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上特别关键。

    

因为单晶炉石墨热场大部分是选用等静压石墨来进行加工的,针对石墨制品加工企业而言石墨材料比起加工工艺所占的比重大一些,那么提升石墨热场的利用率是石墨制品加工企业需要考虑的问题,所以在报价给看客户报价的时候除了要考虑石墨原材料理化指标,更多的还要考虑石墨热场的寿命。

    

清炉是个技术活,清炉不到位,对单晶的正常生长就会有很大影响,轻者,不能正常生长单晶,严重的话,就会造成停炉,因此大家在清理单晶炉中应该注意到几点:

    1、最好是要把喷溅到石墨部件上的硅滴去除,劣化严重的石墨件要向主任报告及时更换。

    2、用刷子和吸尘器清理各种石墨件,必须要注意清理管道的重要性。

    3、石墨件要轻拿轻放,预防石墨件受损。

    4、清理干净的石墨件,要放在干净的不锈钢推车上,预防二次污染。