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怎样延长石墨热场器件的寿命呢?

发布时间:2021-03-19 分享

热场就是热系统。在机械中通常是指单晶炉热场,即单晶炉中的热系统。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,使用石墨加热器把多晶硅等多晶材料熔化,使用直拉法生长无错位单晶的设备。石墨热场其实用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。


众所周知,热场的构成部分例如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等都是由石墨加工形成的。在生产的过程当中,常常可以碰到加热器件损坏的情况,那么石墨热场器件损坏的原因是什么,要怎样来延长石墨热场器件的寿命呢?


石墨器件的损坏,主要是因为人为和劣化两个因素。人为方面只需要增强管理,强化员工防范意识,就能够将损失降到最低。而对于劣化,我们要知道石墨的相关特性,


1.耐高温性,石墨的熔点特别高,在真空是3850度,在低压下升华,升华温度是2200度,和普通材料不一样,在温度升高时石墨不仅不软化,强度反而增多,在2500度时,石墨的抗拉强度反之会增强一倍。


2.特殊的抗热震性,石墨的热膨胀性具备各向异性,由于宏观膨胀系数较大,在温度骤变的状况下,石墨的体积变化也比较小,再加上它的良好的导热性能,所以石墨的抗热震性良好。


终上所述,石墨热场器件(石墨坩埚)可以长期在高温下稳定工作。