热场是真空电阻炉的核心部分,它的好坏对炉子的性能和其运营成本有直接影响。热场的设计是多种多样的,具体选用哪一种设计方案,主要是看工艺流程的具体分析。大部分真空电阻炉的热场涵盖四个主要组成部分:加热器和其连接部件、隔热部件(或者反射屏)、热场支撑部件、工件承载炉床。这些配件常常会因为材质的问题或是使用时间的问题要做好定期更换,那么石墨热场配件在哪些条件下需要更换和清洗呢?
1、针对寿命已到更换期限的,原则上就要更换(或是让经验丰富的人对其进行辨别,决定其是否继续使用)。针对未到寿命更换且暂时不用的,就要把它密封在塑料袋中,放进纸箱打包,注明炉号、炉数、更换原因、来源、日期,同时要妥善保管。
2、针对一些损坏(如三瓣坏一瓣)而又没到寿命期限的,能够凑用或更换(针对只有几炉的新三瓣埚由车间主管判别之后,决定是否使用,对可以使用同时可以凑够一套的凑用,对可以使用但暂时不用的就要把它封存保管)。密封保存的再次使用时,最好是在提纯的炉子上使用。
3、每次拆炉时,就需要清理热场氧化物,同时要将石墨件上的渗硅清理干净,导流筒、保温盖要认真擦拭干净,预防杂物污染原料事故。拿取石墨件,除了要注意人身安全外,还要小心轻放,注意石墨件安全。
4、严格根据操作规程升温、化料、回熔、停炉等,保护好石墨件。每一炉拆炉后都要仔细清洁石墨配件,仔细检查籽晶和各个石墨热场配件的情况,同时要做好详细记录。
5、检查石墨配件是否有裂纹,尤其是石墨坩埚、石墨托盘、石墨坩埚杆有无裂纹,要是出现裂纹就要马上报告车间主管,同时要作出替换,针对有沾硅的地方要作出判断或报告车间主。在使用到预计使用寿命前的5炉之前是由带班班长负责检查、审查。在使用到预计使用寿命前的5炉之后由车间主管负责检查、审查。
6、石墨配件使用寿命到期之后,针对逾期使用有可能导致重大损失的石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等组件要先拆下来替换新品,替换下来的石墨配件做好封存,单晶车间、技术处和生产处会审后再进行处理,其他配件如加热器、保温筒、导流筒等都要仔细检查,查看是否有无微小裂纹和缺陷,原则上这些石墨配件要是没有上述缺陷就能够继续使用。针对出现闷炉的石墨热场配件都需要做好详细记录。
7、针对出现事故的石墨热场配件做好详细记录。针对有问题的石墨配件也要做好详细记录,归入指定的地点,预防混淆。