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半导体工业对石墨材料有什么要求呢?

发布时间:2021-01-18 分享

半导体工业针对所采用的石墨材料要求特别严格,它的纯度越高就代表越好,尤其是世界和半导体材料所需要接触到的石墨器件,例如坩埚、烧结模等,要是杂质含量多就会污染半导体材料,因此不只是需要对所用石墨材料的纯度严格管控,还要通过高温石墨化处理,让灰分降到最低程度,下面随着海飞凌一起来了解一下:


半导体工业要求所应用的石墨材料颗粒度要十分精细,颗粒度细的石墨不仅极易做到加工精度,并且高温强度高,损耗也很小,尤其是针对烧结的模具要求加工精度特别高。


那么,为什么半导体工业针对所采用的石墨材料要求比较高呢?主要是由于半导体工业所使用的石墨器件(涵盖加热器和烧结模)都要承担反复加热和冷却过程,另一方面,为了提升石墨器件的使用寿命,要求所采用的石墨材料在高温下要具备良好的尺寸稳定性和比较好的耐热冲击性能。为了可以满足以上各项要求,在生产石墨材料时要严格控制质量,做到精益求精。