直拉单晶炉的热系统指的是为了熔化硅料,同时维持在一定温度下做单晶生长的整个系统,在直拉单晶硅热场当中,石墨部件具有增涡、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转增祸用的底座、各种圆板、热反射板等大概30多种。
在这些高纯石墨制品当中,加热器是热系统当中十分重要的零件,是直接的发热体,温度最高到达1600℃以上;和加热器相连的石墨电极不但要平稳支撑加热器还要经过它对加热器进行加热,所以石墨电极要求比较厚重,要求结实耐用,它和金属电极还有和加热器的接触面要求要光滑、平稳,确保接触良好,在通电时不能够打火,这就要求对石墨电极做特殊化处理;用来盛装硅料的高纯石墨柑祸一定要具备一定的强度,用来承担硅料的重量。
随着石墨材料在直拉单晶中的使用愈来愈广泛,石墨材料的发展能够推动直拉单晶工艺获得改善,有助于进一步降低直拉单晶的生产成本和提升直拉单晶的生产效率。