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怎样延长石墨热场器件的寿命呢?

发布时间:2020-12-11 分享

怎样延长石墨热场器件的寿命呢?

热场指的就是热系统。在机械中通常指的是单晶炉热场,即单晶炉中的热系统。单晶炉是一种在惰性气体(主要是氮气、氦气)环境中,使用石墨加热器把多晶硅等多晶材料熔化,再用直拉法生长无错位单晶的设备。石墨热场简单的说指的是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。


大家都知道,热场的构成部分例如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等都是由石墨加工制作成的。在生产过程中,常常会遇到加热器件损坏的情况,那么石墨热场器件为什么会损坏呢?要采取什么样的方式来延长石墨热场器件的寿命呢?石墨器件的损坏,主要有人为和劣化两个方面的因素。对于人为方面就需要加强管理,增强员工防范意识,那就能够把损失降到最低点。下面我们就先来了解石墨的相关特性,


1.耐高温性,石墨的熔点特别高,在真空是3850度,在低压下升华,升华温度是2200度,和一般材料不一样,在温度升高时石墨不仅不会软化,强度反而会变高,在2500度时,石墨的抗拉强度还会增多一倍。


2.特殊的抗热震性,石墨的热膨胀性拥有各向异性,由于宏观膨胀系数不大,在温度骤变的状况下,石墨的体积变化也不会很大,再加上它所具有的良好的导热性能,所以石墨的抗热震性良好。

综上所述,石墨热场器件(石墨坩埚)就可以长时间的在高温下稳定工作。